| 发明名称 | 便捷石墨舟 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种便捷石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟片上设有缺口。在每一片舟片的同一位置设置半圆形缺口，为插、取硅片提供了方便，避免了破损，从而大大提高了硅片镀膜生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN202688443U | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN201220306965.X | 申请日期 | 2012.06.28 |
| 申请人 | 沈文伟 | 发明人 | 沈文伟 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人 | 沈兵 |
| 主权项 | 一种便捷石墨舟，包括舟体（1）、舟片（2）、支脚（3）、上电极（4）和下电极（5），舟片（2）设置在舟体（1）内，支脚（3）安装在舟体（1）底部，上电极（4）和下电极（5）分别位于舟体（1）的上部和下部，其特征是，舟片（2）上设有缺口（6）。 | ||
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进区湟里镇西鲁村委施公庄34号 | ||