发明名称 球栅阵列接点形成方法
摘要 本发明为一种方法,将一片焊料(18)在一有许多接点区域(16)之半导体包装基片(15)对准,藉以形成供球栅阵列半导体包装之焊料接点球。将一已加热金属线格栅(20,21)加至焊片(18),以使焊片分开为许多个别焊板(22),每一接点区域(16)各一。然后将热加至焊板(22)及基片(15),以使焊板(22)熔化,并使熔化之焊料回流,以在每一接点区域(16)形成一焊球(23)。
申请公布号 TW419766 申请公布日期 2001.01.21
申请号 TW086117321 申请日期 1997.11.20
申请人 德州仪器公司 发明人 史雷莉
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 蔡中曾 台北巿敦化南路一段二四五号八楼
主权项 1.一种形成焊料接点球供球栅阵列半导体包装之方法,包含下列步骤:使一片焊料在一有许多接点区域之半导体基片上面对准;将一已加热之金属线格栅施加至焊片,以使焊片分开为许多个别焊板,供每一接点区域各一;将热施加至个别焊板及基片,以使焊板熔化;以及使熔化之焊料回流,以在每一接点区域形成一焊球。2.根据申请专利范围第1项之方法,其中每一焊球之容积藉控制焊片之厚度予以控制。3.根据申请专利范围第1项之方法,其中所有焊板为相同尺寸。4.根据申请专利范围第1项之方法,其中已加热之金属线格栅为一种不湿润焊料之材料。5.根据申请专利范围第1项之方法,其中在使焊片与基片对准前,将一种焊料熔剂加至接点区域。6.一种形成焊料接点球供一球栅阵列半导体包装之方法,包含下列步骤:使一片焊料在一有许多接点区域之半导体基片上面对准;将一已加热之金属线格栅施加至焊片,以使焊片分开为许多个别焊板,一焊板与每一接点区域对准;将热施加至个别焊板及基片,以使焊板熔化,以及使熔化之焊料回流,以在每一接点区域形成一焊球。7.根据申请专利范围第6项之方法,其中每一杆球之容积藉控制焊片之厚度予以控制。8.根据申请专利范围第6项之方法,其中所有焊板为相同尺寸。9.根据申请专利范围第6项之方法,其中已加热之金属线格栅为一种不湿润焊料之材料。10.根据申请专利范围第6项之方法,其中在使焊片与基片对准前,将一种焊料熔剂加至接点区域。图式简单说明:第一图示一有球栅阵列之半导体包装;第二图示一位于一基片上之焊片;第三图示在基片上之焊片及一在焊片上之金属线加热器格栅;第四图示籍金属线加热器所分段之焊片;第五图示在基片上所形成之焊球;以及第六图藉焊料回流形成焊球接点之工序流程图。
地址 美国