具有热排风机自动控制系统的PECVD设备

摘要

具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，涉及太阳能硅电池片生产设备领域，尤其涉及制作减少硅片表面反射的SiN薄膜设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感应器的信号输出端与继电器连接。本实用新型利用感应器采集信号，在出舟时控制风机开启，排放热量。而当舟臂在PECVD炉管内则不需要排放热量，自动关闭风机，节约能源。

主权项

具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，其特征在于：所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感应器的信号输出端与继电器连接。