一种换热套

摘要

本实用新型公开了一种换热套，包括外壳和内壳形成的套管以及设置在所述套管两端的上端盖和下端盖，所述套管的夹层内设有至少一个限流板和至少一个隔板；所述限流板的一端与所述下端盖连接，另一端与所述上端盖保持预定的距离；所述下端盖上设有位于所述限流板两侧的进口和出口。本实用新型所提供的换热套将热载体的单导程热交换回路改为了双导程热交换回路，使热载体的进口和出口位于换热套的同一侧，避免了单导程热交换回路造成的换热套两端温差大的问题，使换热套圆周向的温度分布均匀，从而使沉积底表面热场分布均匀，气相沉积反应能够均匀进行。

主权项

一种换热套，包括外壳和内壳形成的套管以及设置在所述套管两端的上端盖和下端盖，其特征在于，所述套管的夹层内设有至少一个限流板和至少一个隔板；所述隔板将所述夹层隔开，所述限流板的一端与所述下端盖连接，另一端与所述上端盖保持预定的距离；所述限流板和所述隔板将所述夹层分隔为两个连通的导程，所述下端盖上设有位于所述限流板两侧的进口和出口。