METHOD AND DEVICE FOR TREATING EXHAUST GAS

摘要

실리콘계가스를 사용하는 CVD 장치로부터 배출되는 배기 가스에 포함되는 원료가스나 고비점중간생성물을, 소정온도로 가열한 니켈 등의 전이금속 혹은 그 규소화합물에 배기 가스를 접촉시킴으로써, 안정된 할로겐화물로 분해 혹은 전화시키고 나서, 배기 가스 중의 유해성분을 무해화처리하는 배기 가스의 처리방법 및 장치이다.