微波功率共焦合成装置

摘要

本发明涉及一种微波功率共焦合成装置。本发明针对现有技术微波功率合成器，对微波源要求较高，系统结构复杂，成本高的缺点，公开了一种微波功率共焦合成装置，对多路微波进行功率合成，从而获得大功率微波，降低大功率微波设备的成本。本发明的技术方案是，微波功率共焦合成装置，包括至少2个微波输入端及其对应的波导腔，所述波导腔包括平行的底面和顶面以及与所述底面和顶面垂直的侧壁，所述侧壁在所述底面或顶面的正投影为椭圆弧；所述微波输入端置于所述椭圆弧的一个焦点上，所述椭圆弧的另一个焦点重合，为微波汇聚端；所述微波输入端输入的微波，经过所述波导腔后汇聚在所述微波汇聚端。本发明可用于产生等离子体。

主权项

微波功率共焦合成装置，包括至少2个微波输入端及其对应的波导腔，其特征在于，所述波导腔包括平行的底面和顶面以及与所述底面和顶面垂直的侧壁，所述侧壁在所述底面或顶面的正投影为椭圆弧；所述微波输入端置于所述椭圆弧的一个焦点上，所述椭圆弧的另一个焦点重合，为微波汇聚端；所述微波输入端输入的微波，经过所述波导腔后汇聚在所述微波汇聚端。