主权项 |
一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法,该检测系统由He‑Ne激光器(1)、聚光镜(2)、平行光管(3)、小孔挡板(4)、被测微透镜(5)、郎奇光栅(6)和CCD探测器(7)组成,通过郎奇光栅(6)的0级和1级衍射光干涉产生的条纹变化状况,完成被测微透镜(5)的定焦检测,其特征是:该方法可通过以下步骤完成对被测微透镜(5)的定焦测量:步骤1:将郎奇光栅(6)置于被测微透镜(5)的焦前,利用微移平台移动CCD探测(7),使郎奇光栅(6)在CCD探测器(7)上清晰成像即CCD探测器(7)的像面与郎奇光栅(6)的刻画表面重合;步骤2:移动CCD探测器(7),使其成像焦面与郎奇光栅(6)的轴向距离为h并用CCD探测器(7)测量干涉条纹的周期p1;步骤3:移动郎奇光栅(6),使其位于被测微透镜(5)的焦后,利用CCD探测器(7)测量干涉条纹的周期p2;步骤4:根据两次测量时条纹周期的变化,结合郎奇光栅(6)移动的距离l,即可分别计算郎奇光栅(6)两次测量时的离焦量s1和s2;步骤5:根据郎奇光栅(6)的离焦量s1和CCD探测器(7)与郎奇光栅(6)的距离h即可计算CCD探测器的离焦位置z: <mrow> <mi>z</mi> <mo>=</mo> <mi>h</mi> <mo>-</mo> <msub> <mi>s</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>=</mo> <mi>h</mi> <mo>-</mo> <mfrac> <msub> <mi>p</mi> <mn>1</mn> </msub> <mrow> <msub> <mi>p</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>+</mo> <msub> <mi>p</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mfrac> <mi>l</mi> </mrow>将CCD探测器(7)向被测微透镜(5)移动z即可完成对被测微透镜(5)的定焦测量。 |