质谱仪

摘要

一种质谱仪，其特征在于，该质谱仪以完全平面的方式被构造；组件被设置在平坦的不导电的衬底上；该质谱仪具有用于离子的能量过滤器(k)，所述能量过滤器(k)被实施为扇形、尤其是90°扇形；通过对施加到该衬底和布线上的被掺杂的半导体片进行光刻和蚀刻来制造电离室(b)、用于使电子和离子加速的电极(g，h，j)、用于所述离子的探测器(1)、和所述能量过滤器(k)，并且前述部件被第二个平坦的不导电的衬底覆盖。

主权项

一种质谱仪，该质谱仪具有以下组件：‑电离室(b)，具有用于要检查的气体的供给通道(a)，‑电子源，用于电离所述要检查的气体，‑用于使电离电子加速的电极(c)，‑用于通过使离子加速或减速来根据质量分离所述离子的电极(g，h，j，m)，‑用于被分离的离子的探测器(l)，以及‑具有金属导体的布线(2)，该布线被施加在平坦的不导电的衬底上，以便与所述用于通过使离子加速或减速来根据质量分离所述离子的电极(g，h，j，m)电连接，其特征在于，‑所述质谱仪的上述组件被设置在所述平坦的不导电的衬底(1)上，‑该质谱仪具有被实施为90°扇形的用于所述离子的能量过滤器(k)，以便仅使刚好具有所定义的能量的离子通过，‑该质谱仪以完全平面的方式被构造，‑所述电离室(b)、用于使电离电子加速的电极(c)、用于通过使离子加速或减速来根据质量分离所述离子的电极(g，h，j，m)、用于所述离子的探测器(l)、和所述能量过滤器(k)通过对施加到所述衬底(1)和所述布线(2)上的被掺杂的半导体片(6)进行唯一的光刻和蚀刻步骤来制造，并且被第二个平坦的不导电的衬底(7)覆盖。