盘式分子泵

摘要

本发明提供一种盘式分子泵，由动圆盘、静圆盘、转轴和泵体等组成，其特点是在相当厚度的动圆盘和静圆盘上设置径向矩形或梯形气道，使圆盘两边的气体分子互通，气道的两个径向侧面与圆盘水平面间的倾斜角各自可在0°至180°之间改变。动圆盘和静圆盘上气道的两个径向侧面中，作为主要传输气体分子作用的一个侧面，两者的倾斜方向是互为相反的，相应的另一个侧面起着配合传输气体分子的作用。由多级动、静圆盘组合的抽气单元，运行时产生气体分子的拖动、传输和压缩作用，使气体分子作定向运动，从而达到抽气目的。本发明具有结构简单、加工制作方便、机械强度大，能承受大流量气体冲击的特点，在中、高真空领域有着广泛的应用前景。

主权项

一种包括泵体〔1〕、转轴〔2〕、鼠笼式聚气导流装置〔4〕、动圆盘〔5〕、静圆盘〔6〕、气体吸入口〔7〕、气体排出口〔8〕的盘式分子泵，其特征在于：a.所述的动圆盘〔5〕固定在转轴〔2〕上，b.所述的静圆盘〔6〕的外缘固定在泵体〔1〕上，c.所述的动圆盘〔5〕、静圆盘〔6〕按次序交替紧密排列，其最后一个是动圆盘。