微影装置及元件制造方法

摘要

在一微影装置中，一控制系统之一前馈转移函数系由以下操作来判定：a)藉由对于一给定设定点信号之迭代学控制来迭代学该控制系统之一前馈输出信号；b)判定该学到之前馈输出信号与该设定点信号间之一关系；及c)应用该关系作为该控制系统之该前馈转移函数。仅针对一或多个特定设定点信号所学之一学到的前馈可经调适以提供一视设定点信号而定之前馈输出信号。可使该学到之前馈对于设定点变化更为稳健。