发明名称 УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И УДАЛЕНИЯ КАПЕЛЬНОЙ ВЛАГИ С ИХ ПОВЕРХНОСТИ
摘要 Устройство для перемещения полупроводниковых пластин и удаления капельной влаги с их поверхности при сушке с использованием эффекта Марангони, отличающееся тем, что оно выполнено в виде толкателя, имеющего форму полого стержня из неметаллического материала, в данном случае, из полипропилена, размещенного горизонтально и прикрепленного к штоку механизма вертикального перемещения, на толкателе имеются впадины, ограничивающие горизонтальное перемещение пластин, сохраняя постоянное расстояние между пластинами, в толкателе имеется продольная сквозная полость, открытая по торцам, и сквозная прорезь, соединенная с полостью, при выходе толкателя из жидкости прорезь с нижним краем пластины попадает в зону растекания воды с меньшим поверхностным натяжением, которая соединяется с водой в полости толкателя, обладающей большим поверхностным натяжением, чем усиливается эффект Марангони, обеспечивая отрыв капель с пластин, удерживаемых на пластинах силами поверхностного натяжения вода - твердое тело электрическим статзарядом.
申请公布号 RU124435(U1) 申请公布日期 2013.01.20
申请号 RU20120123212U 申请日期 2012.06.05
申请人 Общество с ограниченной ответственностью "Новые технологии и оборудование" 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址