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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR BLOCK BONDING APPARATUS, SEMICONDUCTOR BLOCK BONDING METHOD, AND SEMICONDUCTOR WAFER MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
KR20130007569(A)
申请公布日期
2013.01.18
申请号
KR20127023943
申请日期
2011.02.15
申请人
DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人
KANAI TOMOYUKI;MIYAZAKI HAYATO;INAZUMI MASASHI
分类号
H01L21/02;H01L21/304
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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