具有改进加料能力的制造多晶锭的系统

摘要

本发明公开了一种制造多晶锭的系统，包括：上炉体；下炉体；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，所述坩埚保持器用于保持所述坩埚；隔热部件；盖板，所述盖板用于在坩埚被加热时盖住坩埚的开口端；其中所述坩埚保持器和盖板之一上形成有至少两个导向件，所述盖板通过所述导向件相对于所述坩埚保持器沿着纵向可滑动。根据本发明的制造多晶锭的系统，可以将一次熔融的给料提高20-30%,提高了生产效率、降低了多晶锭的制造成本。

主权项

一种制造多晶锭的系统，包括：上炉体；下炉体，所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，所述坩埚保持器用于保持所述坩埚；隔热部件，所述隔热部件容纳在所述炉体空间内，并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动，以控制所述坩埚内的多晶硅锭的定向凝固，盖板，所述盖板用于在坩埚被加热时盖住坩埚的开口端；其中所述坩埚保持器和盖板之一上形成有至少两个导向件，所述盖板通过所述导向件相对于所述坩埚保持器沿着纵向可滑动。