发明名称 以CuInSe<sub>2</sub>薄膜为基体电沉积制备太阳能电池缓冲层ZnS薄膜的方法
摘要 以CuInSe2薄膜为基体电沉积制备太阳能电池缓冲层ZnS薄膜的方法,它涉及一种制备太阳能电池缓冲层ZnS薄膜的方法。本发明要解决现有方法制备太阳能电池缓冲层ZnS薄膜透过率低的问题。本发明的方法如下:一、对导电玻璃进行前处理;二、采用两电极体系恒压电沉积制备CuInSe2薄膜;三、对CuInSe2薄膜进行热处理;四、采用两电极体系恒压电沉积制备ZnS薄膜;五、对ZnS薄膜进行热处理。本发明的方法制备的太阳能电池缓冲层ZnS薄膜透过率达到了80%~90%,而且大大节省了生产成本,还具有沉积速率快、操作简单、安全等特征,非常适合大规模制备ZnS薄膜。本发明应用于太阳能电池领域。
申请公布号 CN102877101A 申请公布日期 2013.01.16
申请号 CN201210379774.0 申请日期 2012.10.09
申请人 哈尔滨理工大学 发明人 李丽波;王文涛;陈高汝;刘波
分类号 C25D9/08(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C25D9/08(2006.01)I
代理机构 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人 高会会
主权项 以CuInSe2薄膜为基体电沉积制备太阳能电池缓冲层ZnS薄膜的方法,其特征在于以CuInSe2薄膜为基体电沉积制备太阳能电池缓冲层ZnS薄膜的方法是按照以下步骤进行的:一、导电玻璃的前处理对导电玻璃进行前处理,待用;二、电沉积制备CuInSe2薄膜采用石墨作为阳极,以步骤一前处理后的导电玻璃作为工作电极,将阳极和工作电极放入CuInSe2电沉积液中进行恒压电沉积,沉积后,取出工作电极,用蒸馏水清洗5~10次,并吹干后,即得CuInSe2薄膜;三、CuInSe2薄膜的热处理将步骤二得到的CuInSe2薄膜在温度为300~400℃、N2气保护的条件下,进行热处理30~40min;四、电沉积制备ZnS薄膜采用石墨作为阳极,以步骤三热处理后的CuInSe2薄膜作为工作电极,将阳极和工作电极放入ZnS电沉积液中进行恒压电沉积,沉积后,取出工作电极用蒸馏水冲洗3~5次,并吹干后,即得ZnS薄膜;五、ZnS薄膜的热处理将步骤四得到的ZnS薄膜在温度为50~70℃、N2气保护的条件下,进行热处理0.1~0.2h,随炉冷却至室温,即完成以CuInSe2薄膜为基体电沉积制备太阳能电池缓冲层ZnS薄膜;其中,步骤二中所述的CuInSe2电沉积液是由1~1.5mmol/L的CuSO4·5H2O、4.5~5.0mmol/L的In2(SO4)3、4~4.5mmol/L的SeO2和0.1~0.3mol/L的柠檬酸钠组成,CuInSe2电沉积液的pH值为2~3;步骤二中所述的恒压电沉积条件为:电压为1.2~1.5V,沉积时间为50~70min;步骤四中所述的ZnS电沉积液是由0.1~0.2mol/L的ZnSO4、0.2~0.3mol/L的NaS2O3和0.1~0.2mol/L的柠檬酸钠组成,ZnS电沉积液的pH值为3~4,ZnS电沉积液的温度为50℃~60℃;步骤四中所述的恒压电沉积条件为:电压为2~3V,电流密度为1~2mA/cm2,沉积时间为4~6min。
地址 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号