折射率测定装置

摘要

本发明提供一种折射率测定装置。以将被检物(23)夹在中间的方式配置两个探针光学系统(22、24)以便用于测定被检物(23)，由此，利用该被检物的干涉信号算出通过局部确定的被检物中的光的光程长度，而且，通过测定探针光学系统的位置而算出该部分的几何厚度，求出光程长度和几何厚度这两个值，并基于这些值和基准物的计算值，求出被检物的折射率分布。

主权项

一种折射率测定装置，其特征在于，具有：光源、将来自所述光源的光分成检查光和参照光的分光器、使所述检查光聚光并照射到被检物表面的第一探针光学系统、使透过所述被检物的所述检查光聚光的第二探针光学系统、以使所述第一探针光学系统的光轴和所述第二探针光学系统的光轴保持同轴性的方式使所述第一探针光学系统和所述第二探针光学系统在一个光轴上位移的驱动机构、使通过所述第二探针光学系统聚光的所述检查光和所述参照光干涉而得到干涉信号的受光元件、以及基于通过所述受光元件得到的干涉信号算出所述被检物的折射率的算出部，所述第一探针光学系统和所述第二探针光学系统中的一个探针光学系统的探针仅露出比其照射光的波长小的范围内的前端，所述探针的其他部分由不透明的覆盖层覆盖。