用于光学非球面磨削的三维超声波辅助加工装置

摘要

本发明涉及一种用于光学非球面磨削的三维超声波辅助加工装置，X轴向压电陶瓷、Y轴向压电陶瓷和Z轴向压电陶瓷分别粘合在超声波弹性振子的侧面上，超声波弹性振子上方设有用于固定非球面工件的夹具平台，波函数发生器发出三向交流电压信号，经X轴功率放大器、Y轴功率放大器和Z轴功率放大器放大后，分别输入X轴向压电陶瓷、Y轴向压电陶瓷和Z轴向压电陶瓷表面的电极上,使得X轴向压电陶瓷、Y轴向压电陶瓷和Z轴向压电陶瓷表面的电极分别产生振动，实现超声波弹性振子的三维超声波合成振动。本发明结构简单，安装方便，可直接作为三维超声波辅助磨削时的工作台，也可以作为夹具装置吸附安装在相关磨床的工作台面上，实现非球面磨削加工。

主权项

一种用于光学非球面磨削的三维超声波辅助加工装置，包括超声波弹性振子（1）、X轴向压电陶瓷（2）、夹具平台（3）、Y轴向压电陶瓷（4）、Z轴向压电陶瓷（5）、波函数发生器（11）、X轴功率放大器（12）、Y轴功率放大器（13）、Z轴功率放大器（14），其特征在于：所述X轴向压电陶瓷（2）、Y轴向压电陶瓷（4）和Z轴向压电陶瓷（5）分别置于超声波弹性振子（1）的侧面，并通过粘合固定在超声波弹性振子（1）上，超声波弹性振子（1）上方设有用于固定非球面工件的夹具平台（3），波函数发生器（11）发出三向交流电压信号，经X轴功率放大器（12）、Y轴功率放大器（13）和Z轴功率放大器（14）放大后，分别输入X轴向压电陶瓷（2）、Y轴向压电陶瓷（4）和Z轴向压电陶瓷（5）表面的电极上,使得X轴向压电陶瓷（2）、Y轴向压电陶瓷（4）和Z轴向压电陶瓷（5）表面的电极分别产生振动，实现超声波弹性振子（1）的三维超声波合成振动。