研磨垫修整器

摘要

本发明公开了研磨垫修整器，其包括修整器摆臂和修整头，该修整器摆臂上或内置固定有液体管路，该液体管路一端连至液体供应源，另一端连至该修整头，且该修整头上具有与液体管路相通并供液体流出的出液口。本发明使研磨垫修整器同时具备传输研磨液和去离子水的功能，利用研磨垫修整器修整头的摆动，增加与研磨头之间的相对运动，提高研磨液的利用率，减少研磨液的浪费；在修整时，可以使去离子水或研磨液的喷洒与修整完全同步，以少量液体即可达到很高的切削率，缩短了修整时间，增加了修整盘的使用寿命。

主权项

一种研磨垫修整器，其特征在于：其包括修整器摆臂和修整头，该修整器摆臂上或内置固定有液体管路，该液体管路一端连至液体供应源，另一端连至该修整头，且该修整头上具有与液体管路相通并供该液体流出的出液口。