| 发明名称 | 检测传感器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及检测传感器。将用简易的结构高灵敏度地检测外力或者加速度作为目的。外力检测传感器(1)具备：包含具有多个固定梳齿部(12a)的固定电极(10)以及具有多个插入固定梳齿部(12a)之间的可动梳齿部(20a)的可动电极(20)的梳齿电极(2)、为了由相对于固定电极(10)的静电力以规定的共振频率使可动电极(20)振动而被连接于固定电极(10)和可动电极(20)的电源(3)、基于使可动电极(20)振动的时候的固定电极(10)与可动电极(20)之间的电气特性的变化检测外力的检测部(4)，关于邻接的固定梳齿部(12a)以及插入其间的可动梳齿部(20a)，一个固定梳齿部(12a)和可动梳齿部(20a)的间隔与另一个固定梳齿部(12a)和可动梳齿部(20a)的间隔不同。 | ||
| 申请公布号 | CN102057264B | 申请公布日期 | 2013.01.16 |
| 申请号 | CN200980120861.0 | 申请日期 | 2009.06.05 |
| 申请人 | 国立大学法人静冈大学 | 发明人 | 桥口原 |
| 分类号 | G01L1/10(2006.01)I;G01P15/10(2006.01)I;H01L29/84(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种检测传感器，其特征在于，具备：梳齿电极，包含具有多个固定梳齿部的固定电极以及具有多个插入所述固定梳齿部之间的可动梳齿部的可动电极；电源，为了利用相对于所述固定电极的静电力使所述可动电极以规定的共振频率振动而被连接于所述固定电极和所述可动电极；以及检测单元，基于使所述可动电极振动的时候的所述固定电极与所述可动电极之间的电气特性的变化，检测外力或者加速度，关于邻接的所述固定梳齿部以及插入其间的所述可动梳齿部，一个固定梳齿部和该可动梳齿部的间隔与另一个固定梳齿部和该可动梳齿部的间隔不同，由此，在施加所述外力或者加速度的情况下所述电气特性发生变化。 | ||
| 地址 | 日本静冈县 | ||