一种锰合金靶材及其制造方法

摘要

本发明涉及一种锰合金溅射靶材及其制造方法，该靶材由Pd、Pt、Ir、Au、Ru、Os、Rh和Re中的一种及两种以上金属和锰组成，合金中锰的质量含量为2%~80%，合金锰含量与名义成分偏差为±0.2质量%，靶材的含氧量为200ppm以下，纯度为99.9%~99.999%，表面粗糙度最低为Ra=0.8um，翘曲为0.1mm以下，具有细小均匀的组织结构。该靶材成分精确、均匀，致密度高，靶材尺寸精确，表面质量高，采用熔炼工艺和机械加工的方法制备，可以在尽可能短的流程下低成本、大批量制备出该合金系靶材，且克服该合金在制备过程中易出现的材料制备困难和合金很脆带来的加工困难，得到具有优异性能的锰合金溅射靶材。

主权项

一种锰合金溅射靶材，其特征在于：由Pd、Pt、Ir、Au、Ru、Os、Rh和Re中的一种及两种以上金属和锰组成，合金中锰的质量含量为2%~80%，靶材的含氧量为200ppm以下，纯度为99.9%~99.999%，表面粗糙度最低为Ra=0.8um，翘曲为0.1mm以下，具有细小均匀的组织结构。