一种工件台质量测校方法

摘要

一种工件台质量测校方法，包括设定工件台的设定加速度、工件台与平衡质量的设定质量比，规划工件台的匀加速运动轨迹；闭环控制工件台和平衡质量，工件台根据规划的匀加速运动规划轨迹做匀加速运动，平衡质量受到工件台的作用力相应做匀加速运动；根据工件台的光栅尺闭环计算获得工件台相对于平衡质量的加速度，根据平衡质量做匀加速运动时的平衡质量控制器输出力计算获得平衡质量的加速度偏差；根据平衡质量的加速度偏差、工件台的设定加速度、工件台与平衡质量的设定质量比、平衡质量的质量及工件台相对于平衡质量的加速度计算获得工件台和平衡质量的实际质量比、工件台的质量。本发明简单实用、不需要特别设计算法，便于在线测试。

主权项

一种工件台质量测校方法，所述工件台位于平衡质量上，包括步骤1，设定所述工件台的设定加速度als_set、工件台与平衡质量的设定质量比κset，规划工件台的匀加速运动轨迹；步骤2，闭环控制所述工件台和所述平衡质量，所述工件台根据规划的匀加速运动轨迹做匀加速运动，所述平衡质量受到所述工件台的作用力相应做匀加速运动；步骤3，根据所述工件台的光栅尺计算获得工件台相对于平衡质量的加速度als2bm_rel，根据所述平衡质量做匀加速运动时的平衡质量控制器输出力计算获得平衡质量的加速度偏差Δa；步骤4，根据所述平衡质量的加速度偏差Δa、所述工件台的设定加速度als_set、工件台与平衡质量的设定质量比κset、平衡质量的质量mbm_rel及工件台相对于平衡质量的加速度als2bm_rel计算获得所述工件台和所述平衡质量的实际质量比κset_rel、所述工件台的质量mls_rel。