一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置

摘要

本实用新型公开了一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，包括有照射激光器、加工激光器、相对于加工激光器输出端后的光束扩散装置、相对光束扩散装置输出端后和照射激光器输出端后的光学合束镜、设置于光学合束镜后的激光扫描器和相对激光扫描器照射端的载物台。本实用新型两束激光来自于同一激光器或两台激光器，由于两束激光叠加的非线性效应，它们的总能量低于达到同等效果的单束激光的能量，提高了激光能量的使用效率，且采用相对较低功率激光器来获得同样加工速度，或者使用同样激光器而较大幅度提高有关加工速度，从而大大降低有关加工成本。

主权项

一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：它包括有照射激光器、加工激光器、相对于加工激光器输出端后的光束扩散装置、相对光束扩散装置输出端后和照射激光器输出端后的光学合束镜、设置于光学合束镜后的激光扫描器和相对激光扫描器照射端的载物台。