用于电铸法的模具以及制造该模具的方法

摘要

本发明涉及一种用于制造模具(39，39’，39”)的方法(3)，包括以下步骤：a)提供(10)具有顶层(21，21’)和底层(23，23’)的基材(9，9’)，所述顶层和底层由可微机械加工的导电材料制成并且通过电绝缘的中间层(22，22’)相互连接；b)在所述顶层中刻蚀(11，12，14，2，4)至少一个图案(26，26’，27’)直至中间层，以便在所述模具中形成至少一个凹腔(25，25’)；c)用电绝缘涂层(30，30’)涂覆(6，16)所述基材的顶部部分；d)定向刻蚀(8，18)所述涂层和中间层，以便专门在形成于所述顶层中的各垂直壁(31，31’，33)处限制其存在。本发明涉及微机械部件尤其是钟表机芯的领域。

主权项

用于制造用于通过电铸法制造微机械部件(41，41’，41”)的模具(39，39’，39”)的方法(3)，包括以下步骤：a)提供(10)基材(9，9’)，该基材具有顶层(21，21’)和底层(23，23’)，所述顶层和底层由导电的掺杂结晶硅制成并且通过电绝缘的中间层(22，22’)相互连接；b)在顶层(21，21’)中刻蚀(11，12，14，2，4)至少一个图案(26，26’，27’)直至中间层(22，22’)，以便在所述模具中形成至少一个第一凹腔(25，25’)；c)用电绝缘涂层(30，30’)涂覆(6，16)该基材的顶部部分；d)定向刻蚀所述涂层和所述中间层，以便专门在形成于所述顶层中的各垂直壁(31，31’)处限制所述涂层和中间层的存在。