| 发明名称 | 辐射检测器和辐射检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供具有高检测灵敏度的辐射检测器和辐射检测方法。本发明的辐射检测器包括：Al2O3基板；叠层在Al2O3基板上的Fe2O3薄膜；叠层在Fe2O3薄膜上，CoO2面相对于Al2O3基板表面倾斜而排列的CaxCoO2(其中，0.15＜x＜0.55)薄膜；配置在CaxCoO2薄膜上的第一电极；和位于CaxCoO2薄膜上，在CoO2面倾斜排列的方向上，配置在与第一电极相对的位置上的第二电极。 | ||
| 申请公布号 | CN102047085B | 申请公布日期 | 2013.01.16 |
| 申请号 | CN200980120321.2 | 申请日期 | 2009.11.17 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 高桥宏平;菅野勉;酒井章裕;足立秀明 |
| 分类号 | G01J1/02(2006.01)I;G01J5/12(2006.01)I;H01L35/22(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I | 主分类号 | G01J1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种辐射检测器，其特征在于，包括：具有作为r面、n面或S面的表面的Al2O3基板，其中，r面是从(0001)面倾斜57°的(1‑102)面，n面是从(0001)面倾斜61°的(11‑23)面，S面是从(0001)面倾斜72°的(10‑11)面；叠层在所述Al2O3基板的所述表面上的Fe2O3薄膜；叠层在所述Fe2O3薄膜上、CoO2面相对于所述Al2O3基板的所述表面倾斜地排列的CaxCoO2薄膜，其中，0.15＜x＜0.55；配置在所述CaxCoO2薄膜上的第一电极；和位于所述CaxCoO2薄膜上的第二电极，该第二电极在所述CoO2面倾斜排列的方向上，配置在与所述第一电极相对的位置上，所述CaxCoO2薄膜为倾斜叠层薄膜，具有CoO2层和Cax块层交替叠层的层状构造。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||