发明名称 晶片载具的结构改良
摘要 一种晶片载具的结构改良,设置于一晶片检测机台,该晶片检测机台上方设有一吸附手臂,并且设有数个气枪,包括:一基座、一动力托盘以及数个导引柱。其中,该动力托盘可升降地装设于该基座,该些导引柱锁固于该基座周缘并且垂直于该动力托盘,该些导引柱各具有一缺角结构。如此,本创作藉由缺角结构的设置,可降低晶片因与晶片载具发生撞击而产生破片、缺角或者崩边之机率,进而增加生产线之良率。
申请公布号 TWM445253 申请公布日期 2013.01.11
申请号 TW101215227 申请日期 2012.08.08
申请人 旭泓全球光电股份有限公司 宜兰县五结乡利工一路2段1号 发明人 邱玉婷;谭任廷
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项
地址 宜兰县五结乡利工一路2段1号