半导体电容结构及其布局图案

摘要

本发明系提供一种具有复数个对称环型区段的金属－氧化层－金属电容结构。本发明之金属－氧化层－金属电容结构不需要使用额外的光罩，制程费用较便宜，此外，由于半导体制程的进步，因此可以叠加数目相当大的金属层，而且因为金属层之间的距离也变得愈来愈小，所以可以得到愈来愈高的单位电容值。