薄膜电晶体阵列面板及其制造方法

摘要

本发明系提供一种制造薄膜电晶体阵列面板之方法，该方法包括：于一基板上形成一闸极线；于该闸极线上形成一闸极绝缘层；于该闸极绝缘层上形成一半导体层；于该半导体层上形成一资料线及一汲电极；于该资料线及该汲电极上沈积一钝化层；于该钝化层上形成一含有一第一部份及一较第一部份薄之第二部分的光阻剂；使用光阻剂作为一罩模以至少部分地曝现该汲电极之一部分而蚀刻该钝化层；将光阻剂之第二部分移除；沈积一导电薄膜；以及将该光阻剂移除以于该汲电极之经曝现部分上形成一像素电极。