Schichtsystem mit einer Schicht aus parallel zueinander angeordneten Kohlenstoffröhren und einer elektrisch leitenden Deckschicht, Verfahren zur Herstellung des Schichtsystems und dessen Verwendung in der Mikrosystemtechnik

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schichtsystem, umfassend eine Schicht aus parallel zueinander ausgerichteten Kohlenstoffnanoröhren und eine unmittelbar damit verbundene Deckschicht mit metallischen Eigenschaften, aus der die Kohlenstoffnanoröhren im”tip”-Wachstum gewachsen sind. Das Schichtsystem kann weiterhin eine Basisschicht und/oder ein Substrat aufweisen. Es ist erhältlich durch das Erzeugen einer strukturierten Schicht aus einer ersten Phase, die aus einem Metall besteht, das keine eigenständige katalytische Aktivität hinsichtlich des Entstehens von CNTs aus der Gasphase aufweist, sowie einer zweiten Phase aus einem Metall, das die Entstehung von CNTs aus der Gasphase katalysiert, auf einem Substrat oder einer Basisschicht, wobei die erste Phase eine ungleichmäßig dicke und/oder gefaltete, gegebenenfalls mit Poren durchsetzte Struktur besitzt und die zweite Phase sich in Vertiefungen und/oder Poren der ersten Phase befindet derart, dass beide Materialphasen in der lateralen Ebene zumindest teilweise nebeneinander vorliegen, auf dem Substrat bzw. der darauf befindlichen Basisschicht. Auf dieser strukturierten Schicht wird Kohlenstoff aus einer kohlenwasserstoffhaltigen Gasatmosphäre abgeschieden, wobei sich Kohlenstoffnanoröhren bilden, die zumindest Teile der strukturierten Schicht in geschlossener Form anheben. Das Substrat oder die Basisschicht kann anschließend entfernt werden. Das Schichtsystem der Erfindung eignet sich zur Anwendung in einer Vielzahl von Bauelementen und elektronischen Mikro- und Nanosystemen, Flip-Chip-Verbindungen, Sensoren oder Aktoren, insbesondere von Drucksensoren, Berührungssensoren, optischen Sensoren, Spiegeln, Projektoren, optischen Filtern, Nanopositioniersystemen oder Interferometern, in einer spezifischen Form auch in einer Superkapazität.