发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Absorption in einem Rohling
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen der Absorption eines Rohlings (2) zur Herstellung eines optischen Elements (3), umfassend: Durchstrahlen des Rohlings (2) mit einem Heizlichtstrahl (8) zum Aufheizen des Rohlings (2), sowie Bestimmen der Absorption in dem Rohling (2) durch Messen mindestens einer Eigenschaft eines durch das Aufheizen des Rohlings (2) beeinflussten Messlichtstrahls (10). Bei dem Verfahren werden entweder der Heizlichtstrahl (8) und der Messlichtstrahl (10) oder der Heizlichtstrahl und ein weiterer Heizlichtstrahl derart ausgerichtet, dass diese durch eine erste polierte Oberfläche (2a) oder eine zweite, der ersten gegenüberliegende polierte Oberfläche (2b) in den Rohling (2) eintreten und ausschließlich im Inneren des Rohlings (2), bevorzugt in einem für die Herstellung des optischen Elements (3) genutzten Volumen (12) aufeinander treffen. Die Erfindung betrifft auch eine zugeordnete Messvorrichtung (1) sowie ein optisches Element (3) und eine optische Anordnung damit.</p>
申请公布号 DE102011078885(A1) 申请公布日期 2013.01.10
申请号 DE20111078885 申请日期 2011.07.08
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 EVA, ERIC
分类号 G01N21/59 主分类号 G01N21/59
代理机构 代理人
主权项
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