摘要 |
Ein Spektroskopiemodul 1 ist mit einer Spektroskopieeinheit 8 und einem Fotodetektor 9 zusätzlich zu einer Spektroskopieeinheit 7 und einem Fotodetektor 4 versehen und kann daher seine Detektionsempfindlichkeit für Licht in einem weiten Wellenlängenbereich oder verschiedenen Wellenlängenregionen von Licht verbessern. Ein Lichttransmissionsloch 4b ist zwischen Lichtdetektionsabschnitten 4a, 9a angeordnet, während eine Reflexionseinheit 6 so vorgesehen ist, dass sie einer Region R in einem Licht absorbierenden Substrat 2 gegenüberliegt, wodurch die Größe klein gehalten werden kann. Umgebungslichorbiert. Jeder Teil des Lichts La, das durch die Region R in dem Substrat 2 transmittiert wird, wird in die Region R durch die Einheit 6 reflektiert, die so ausgebildet ist, dass sie der Region R gegenüberliegt, wodurch Streulicht nicht durch das einfallende Licht La erzeugt werden kann. |