一种用于半导体外延系统的基座

摘要

本发明公开了一种用于半导体外延系统的基座，机械传动方式实现基座的公转、气动旋转方式实现衬底的自转，并结合机械手实现基座整体的升降。本发明包含有大盘、小盘，大盘内部设有辐射状的内部气路通道，大盘的内部气路通道连通小盘，支撑杆内的内部气道连通大盘内部辐射状的内部气路通道，支撑杆中部设有金属法兰，金属法兰的中心设有磁流体组件，撑杆延伸出金属法兰的部分固定有一从动轮，从动轮一侧等高的位置设有主动轮，靠近支撑杆尾端的位置设有轴承组件，支撑杆的尾端设有进气组件，进气组件由轴承组件、B套管和气体入口组成。本发明的设计可以节约反应的原料、提高薄膜的均匀性；基座结构简单、可靠。

主权项

一种用于半导体外延系统的基座，具有双重旋转和升降功能的基座，包含有：大盘（2）、小盘（1），其特征在于：所述大盘（2）内部设有辐射状的内部气路通道（23），所述大盘（2）上设有3个以上小盘（1），所述小盘（1）的下部设有扇叶（21），所述大盘（2）的内部气路通道（23）连通小盘（1），所述大盘（2）中心连接支撑杆（4），所述支撑杆（4）内设有内部气道（41），所述支撑杆（4）的内部气道（41）连通大盘（2）的内部气路通道（23），所述支撑杆（4）中部设有金属法兰（5），所述金属法兰（5）的中心设有磁流体组件（24），所述磁流体组件（24）包含磁流体轴承（18）和磁流体磁铁（19），所述磁流体组件（24）内部设有A套管（12），所述A套管（12）的内部设有中空的支撑杆（4），所述支撑杆（4）上位于金属法兰（5）之下设有一从动轮（10），所述从动轮（10）一侧等高的位置设有主动轮（9），所述主动轮（9）安装在伺服电机（8）的顶端，所述支撑杆（4）的尾端设有进气组件，所述进气组件由轴承组件（15）、B套管（17）和气体入口（16）组成，所述轴承组件（15）包括轴承和轴承固定件（13），所述轴承固定件（13）与支撑杆（4）固定在一起，所述轴承的外部设有机械手支架（11），所述进气组件连接机械手支架（11）。