一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头

摘要

本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头。包括挂钩、上段、中段、下段、销子，下段的中心为晶种的固定槽，下段的下部一侧开有销子孔，销子孔为普通键槽形状的通孔，销子孔内装有销子，销子为圆柱形，一侧有宽度e为3-6mm的平面。晶种夹头的挂钩、上段、中段、下段、销子的材料为高温钼。本实用新型能使操作者在安装晶种时观察到销子与晶种的固定面的接触处的贴合状态，确保销子与晶种的固定面的接触处是平面。本实用新型能显著提高晶种提拉的硅单晶的重量，显著降低在销子与晶种接触处因应力集中而发生晶种断裂的机会。使用本实用新型的晶种夹头，晶种提拉的单晶的重量可以达到300-400kg。

主权项

一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头，其特征在于夹头从上到下顺次包括挂钩（1）、上段（2）、中段（3）、下段（4）、销子（5），挂钩（1）顶端有一凹槽，凹槽的两侧留有销子孔；上段（2）包括相连接的圆柱体和圆锥台，总高度a为100‑150mm、直径d1为50‑70mm，圆锥台的底角α1为60°‑70°、圆锥台高度a′为5‑10mm；中段（3）为圆锥台，其高度b为40‑50mm；下段（4）包括相连接的圆柱体和圆锥台，总高度c为100‑150mm，直径d2为40‑50mm，圆锥台底角α2为60°‑70°，圆锥台高度c′为5‑10mm，下段（4）的下部中心设有晶种的固定槽（9），固定槽（9）的直径d6为12‑13mm，下段（4）的下部一侧开有销子孔（7），销子孔（7）为普通键槽形状的通孔，销子孔（7）的截面两端的圆半径R为2.5‑4mm，圆心间距h1为1‑5mm，销子孔（7）的截面靠近夹头表面的圆弧的圆心离夹头轴线的距离为7‑9mm；销子孔（7）内装有销子（5），销子（5）为长度40‑50mm的圆柱形，销子（5）侧面设有宽度e为3‑6mm的平面，平面与销子（5）轴线平行，销子（5）的直径d4为5‑8mm，d4=2R。