天线、电介质窗、等离子体处理装置和等离子体处理方法

摘要

本发明提供一种能够改善基板表面处理量的面内均匀性的天线、电介质窗、等离子体处理装置和等离子体处理方法。该天线具备电介质窗（16）和设置于电介质窗（16）一个表面上的槽板（20）。电介质窗（16）的另一个表面具有：平坦面（146），其被环状的第一凹部包围；和第二凹部（153），其以包围平坦面（146）的重心位置的方式在平坦面（146）内形成多个。当从与槽板的主表面垂直的方向观看时，各个第二凹部（153）的重心位置重叠位于槽板（20）中的各个槽（133）内。

主权项

一种天线，其特征在于，具备：电介质窗；和设置于所述电介质窗一个表面上的槽板，所述电介质窗的另一个表面具有：平坦面，其被环状的第一凹部包围；和第二凹部，其以包围所述平坦面的重心位置的方式在所述平坦面内形成多个，当从与所述槽板的主表面垂直的方向观看时，各个所述第二凹部的重心位置重叠位于所述槽板中的各个槽内。