硅基太阳能电池表面氧化锌纳米阵列减反射层的制备方法

摘要

本发明公开了一种硅基太阳能电池表面氧化锌纳米阵列减反射层的制备方法。该方法是在硅基太阳能电池表面先利用原子层沉积或者溶液法制得一层氧化锌，退火后在前驱体水溶液中反应得到氧化锌纳米阵列减反射层。本发明的优点在于：有效地减少了硅基太阳能电池表面的光反射，在一定波长范围内提高了硅基太阳能电池的光电转换效率，且该氧化锌纳米阵列减反射层制备方法简单，实验温度低。

主权项

一种硅基太阳能电池表面氧化锌纳米阵列减反射层的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)在硅基太阳能电池样品表面采用原子层沉积方法，或者采用含有2‑8mM无水醋酸锌和2‑8mM二乙醇胺的无水乙醇溶液涂于硅基太阳能电池表面的方法生长厚度为10‑50nm的氧化锌层；2)将硅基太阳能电池样品在350‑400℃下退火20‑60min，自然冷却；3)将硅基太阳能电池样品浸入含有0.75‑7.5mM聚乙烯亚胺、0.005‑0.05M六水硝酸锌和0.005‑0.05M环六亚甲基四胺前驱体的水溶液中，置于80‑100℃温度下，反应2‑8小时；4)冷却后将硅基太阳能电池样品取出，用去离子水冲洗，最后用氮气吹干，获得氧化锌纳米阵列减反射层。