| 发明名称 |
SPUTTERING APPARATUS AND SPUTTERING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20130002359(A) |
申请公布日期 |
2013.01.07 |
| 申请号 |
KR20127032407 |
申请日期 |
2009.09.29 |
| 申请人 |
CANON ANELVA CORPORATION |
发明人 |
KITADA TORU;WATANABE NAOKI;NAGAI MOTONOBU;SUENAGA MASAHIRO;KONNO TAKEO |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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