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发明名称 CALIBRATION OF MEMS SENSOR
摘要 <p>A micro electromechanical systems (MEMS) sensor is excited. The response of the MEMS sensor is measured. The MEMS sensor is calibrated.</p>
申请公布号 WO2013002809(A1) 申请公布日期 2013.01.03
申请号 WO2011US42724 申请日期 2011.06.30
申请人 HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P.;HOMEIJER, BRIAN D.;BICKNELL, ROBERT NEWTON 发明人 HOMEIJER, BRIAN D.;BICKNELL, ROBERT NEWTON
分类号 B81B7/02;G01H17/00;G01V1/16 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
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