| 摘要 |
<p>본 발명의 목적은, 장치 분할시의 변형, 진동을 저감하여, 고정밀도로 검사 가능한 유리 기판의 검사 장치를 제공하는 것이다. 본 발명은, 유리 기판을 적재하는 검사 스테이지와, 검사광을 상기 유리 기판에 조사하고, 검사광이 유리 기판의 표면 또는 내부의 이물질에 의해 산란된 산란광을 수광하는 광학부와, 상기 검사 스테이지 및 상기 광학부 중 적어도 한쪽을 이동시키는 구동부를 갖는 기대와, 상기 기대를 설치하는 다리부를 갖는 유리 기판 검사 장치에 있어서, 상기 기대 및 상기 검사 스테이지 중 적어도 상기 기대를 상기 이동 방향으로 복수로 분할하고, 상기 다리부는 강체로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.</p> |
