| 发明名称 |
Kammer und Kammerkombination fuer eine Vakuumanlage und Verfahren zum Durchreichen mindestens eines Werkstueckes. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
CH686445(A5) |
申请公布日期 |
1996.03.29 |
| 申请号 |
CH19920003120 |
申请日期 |
1992.10.06 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHERTLER, ROMAN |
| 分类号 |
C23C14/56;G11B5/85;G11B7/26;G11B11/10;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/56;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
