涂层设备和带有护板的涂层设备的工作方法

摘要

本发明涉及一种用于基底(12)处理尤其涂层的设备，包括过程室(1)，包括至少一个通过装料口(6、7)与过程室(1)连接的储存室(2、3)，用于存放要在过程室(1)中处理的基底(12)或处理时要使用的掩模(10、10′、10″、10″′)，包括输送装置(13)，用于通过装料口(7)为过程室(11)进行基底或掩模(10、10′、10″、10″′)的装料和卸料，包括温度可调的进气机构(4)，用于将原材料与载气一起引入过程室(1)，包括与进气机构对置的接受器(5)，用于承接要处理的基底(12)，包括护板(11)，它处于进气机构(4)与接受器(5)或掩模(10)之间的防护位置，防止基底(12)或掩模(10)受进气机构(4)的温度影响，包括护板移动装置(15、16)，用于在基底(12)处理前将护板(11)从在进气机构(4)前的防护位置移到存放位置，而在基底(12)处理后将护板(11)从存放位置移回防护位置。关键是，护板(11)处于储存室(2、3)之一内部的存放位置。

主权项

一种用于基底(12)处理尤其涂层的设备，包括过程室(1)，至少一个通过装料口(6、7)与该过程室(1)连接的储存室(2、3)，该储存室用于存放要在过程室(1)中处理的基底(12)或处理时要使用的掩模(10、10′、10″、10″′)，所述设备还包括输送装置(13)，用于通过装料口(7)为过程室(1)进行基底或掩模(10、10′、10″、10″′)的装料和卸料，包括温度可调的进气机构(4)，用于将原材料与载气一起引入过程室(1)，包括与进气机构对置的接受器(5)，用于承接要处理的基底(12)，包括护板(11)，它处于进气机构(4)与接受器(5)或掩模(10)之间的防护位置，防止基底(12)或掩模(10)受进气机构(4)的温度影响，包括护板移动装置(15、16)，用于在基底(12)处理前将护板(11)从在进气机构(4)前的防护位置移到存放位置，而在基底(12)处理后将护板(11)从存放位置移回防护位置，其特征为：所述护板(11)处于储存室(2、3)之一内部的存放位置。