发明名称 分光器的制造方法
摘要 本发明涉及分光器的制造方法。首先,准备以外形为长方体形状、在底面上具有一对沟槽、具有半球状的凹部(10)的方式被树脂成型的箱体(5)。接着,将光固化性的树脂剂(27)涂布于该箱体(5)的凹部(10)的底部的区域(12)。接着,将通过在底面沿着规定的方向排列多个光栅沟槽而形成的光透过性的模具(28)抵接于被涂布的树脂剂(27),并且照射光而使树脂剂(27)固化,将形成有多个光栅沟槽的光栅(29)设置于凹部(9)的区域(12)。接着,以覆盖光栅(29)的方式通过蒸镀Al或Au等来设置反射膜(15)。接着,将光检测元件(4)容纳于封装体(2)内。由此,能够容易地制造可靠性高的分光器。
申请公布号 CN101970995B 申请公布日期 2013.01.02
申请号 CN200980109121.7 申请日期 2009.05.08
申请人 浜松光子学株式会社 发明人 柴山胜己
分类号 G01J3/18(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I 主分类号 G01J3/18(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种分光器的制造方法,其特征在于,是由分光部对光进行分光并由光检测元件进行检测的分光器的制造方法,包括以下工序:准备封装体的工序,所述封装体的外形为长方体形状,并且所述封装体形成有凹部,所述凹部具有第1区域和包围该第1区域的第2区域在同一曲面上连续地设置的内壁面;形成树脂层的工序,在准备了所述封装体之后,将树脂层形成于所述第1区域;形成光栅沟槽的工序,在形成所述树脂层之后,通过将模具抵接于该树脂层从而形成沿着规定的方向排列的多个光栅沟槽;设置所述分光部的工序,在形成所述光栅沟槽之后,通过将反射膜形成于所述树脂层从而将所述分光部设置于所述封装体中;以及容纳所述光检测元件的工序,在设置所述分光部之后,将所述光检测元件容纳于所述封装体中。
地址 日本静冈县