| 发明名称 | 旋转位置监控系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种旋转位置监控系统，包括圆盘编码器、传感系统与控制电路，所述圆盘编码器固定安装于旋转组件的底部，所述传感系统从所述圆盘编码器采集信号，所述传感系统与所述控制电路连接，所述控制电路与机台端口连接，所述控制电路包括角度计算处理器与时间补偿处理器。本实用新型通过圆盘编码器与传感系统完成对旋转的角度信息的采集，再通过控制电路对采集到的信息进行计算和补偿，最后反馈到机台端口中，使得旋转组件能准确地以预定的角度旋转。 | ||
| 申请公布号 | CN202643833U | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201220292887.2 | 申请日期 | 2012.06.20 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 周琦;李秀军;桂鲲;袁洪 |
| 分类号 | C23C14/54(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种旋转位置监控系统，其特征在于：包括圆盘编码器、传感系统与控制电路，所述圆盘编码器固定安装于旋转组件的底部，所述圆盘编码器为圆盘结构，所述传感系统从所述圆盘编码器采集信号，所述传感系统与所述控制电路连接，所述控制电路与机台终端连接，所述控制电路包括角度计算处理器与时间补偿处理器。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||