三氯氢硅反应器

摘要

本实用新型提供的三氯氢硅反应器，克服了现有技术存在的成本过高、易烧损失效，且生产效率低的缺点。它包括主壳体1，硅粉进料口2、进气口5，其中：所述的主壳体1为15CrMoR破钢材料；硅粉进料口2移位于顶部；主壳体1的外表面增设了水夹套结构3；增加了气体分布器4位于进气口5上方。水夹套结构3由夹套筒体7与内筒体6及接管8焊接密封形成。此种结构大幅降低了设备成本，提高了生产效率，保证了设备使用的安全，并延长了使用寿命。

主权项

一种三氯氢硅反应器，它包括主壳体(1)，硅粉进料口(2)、进气口(5)，其特征是：所述的主壳体(1)为15CrMoR碳钢材料；主壳体(1)的外表面有水夹套结构(3)；气体分布器(4)位于进气口(5)上方。