用于高纯安全特气的钢瓶更换方法

摘要

本发明公开了一种钢瓶更换方法，尤其是一种用于高纯安全特气的钢瓶更换方法。本发明提供了一种避免钢瓶管接头的密封接口部受到污染的用于高纯安全特气的钢瓶更换方法，包括以下步骤：首先关闭钢瓶阀门，对与钢瓶相连的供气管路进行抽真空；然后向供气管路中充入氮气稀释供气管路中残余的特殊气体；再对供气管路进行抽真空，然后再向供气管路中充入氮气，以此重复直至供气管路中特殊气体的含量低于设定值；松开供气管路端部的钢瓶管接头与钢瓶的连接，同时利用氮气形成气帘包覆钢瓶管接头的密封接口部从而对密封接口部进行持续吹扫；待原有钢瓶拆下后，将钢瓶管接头与新的钢瓶连接，待连接可靠后，停止氮气对钢瓶管接头的吹扫。

主权项

用于高纯安全特气的钢瓶更换方法，其特征在于：包括以下步骤：A、首先关闭钢瓶（5）阀门，对与钢瓶（5）相连的供气管路（61）进行抽真空；B、然后向供气管路（61）中充入氮气稀释供气管路（61）中残余的特殊气体；C、再对供气管路（61）进行抽真空，然后再向供气管路（61）中充入氮气，重复直至抽真空和充入氮气直至供气管路（61）中特殊气体的含量低于设定值；D、松开供气管路（61）端部的钢瓶管接头（2）与钢瓶（5）的连接，同时利用氮气形成气帘包覆钢瓶管接头（2）的密封接口部（22）从而对密封接口部（22）进行持续吹扫；E、待原有钢瓶（5）拆下后，将钢瓶管接头（2）与新的钢瓶（5）连接，待连接可靠后，停止氮气对钢瓶管接头（2）的吹扫。