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发明名称 PLASMA DOPING METHOD AND PLASMA DOPING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1881523(B1) 申请公布日期 2013.01.02
申请号 EP20060746306 申请日期 2006.05.11
申请人 PANASONIC CORPORATION 发明人 SASAKI, YUICHIRO;OKASHITA, KATSUMI;ITO, HIROYUKI;MIZUNO, BUNJI;OKUMURA, TOMOHIRO
分类号 H01L21/223;C23C14/48;H01J37/32;H01L21/265 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
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