| 发明名称 | 等离子体处理参数的检测 | ||
| 摘要 | 一种用于监控封闭式等离子体处理空间(102)中的状况的系统。该系统包括传感器(338)，被布置成被配备在该封闭式等离子体处理空间内，用于检测在该封闭式等离子体处理空间内的状况，以及调制电路(342)，被连接到该传感器，并被布置成调制该传感器的输出，以提供被调制的信号。该系统进一步包括第一传输线耦合器(330)，被布置为在该封闭式等离子体处理空间内被处置。该第一传输线耦合器(546)被连接到该调制电路并被布置成把该被调制的信号耦合到传输线，该传输线被布置成把能量传递进入该封闭式等离子体空间内。该系统进一步包括第二传输线耦合器，被布置成在该封闭式等离子体处理空间之外被处置，并被耦合到传输线和解调器(550)，该解调器被连接到第二耦合器，用于接收和解调该被调制的信号。 | ||
| 申请公布号 | CN102859637A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201180020316.1 | 申请日期 | 2011.04.21 |
| 申请人 | 安平丹斯有限责任公司 | 发明人 | 保罗·斯卡林;大卫·加恩;多纳尔·奥沙利文 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京元本知识产权代理事务所 11308 | 代理人 | 秦力军 |
| 主权项 | 一种用于监控封闭式等离子体处理空间内状况的系统，包括：(a)传感器，被设置在所述封闭式等离子体处理空间内，用于检测所述封闭式等离子体处理空间内状况；(b)调制电路，被连接到所述传感器，并调制所述传感器的输出，以提供已调制信号；(c)第一传输线耦合器，被布置在所述封闭式等离子体处理空间内，连接所述调制电路并把所述已调制信号耦合到传输线，所述传输线用来把能量传递到所述封闭式等离子体空间内；(d)第二传输线耦合器，被布置在所述封闭式等离子体处理空间之外，并耦合连接所述传输线；(e)连接到所述第二耦合器的解调器，用于接收和解调所述已调制信号。 | ||
| 地址 | 爱尔兰都柏林 | ||