加速度传感器

摘要

一种加速度传感器，具有：基板(1)、第一和第二扭转梁(11、12)、第一和第二检测框(21、22)、第一和第二检测电极(41、42)、第一和第二连接梁(31、32)以及惯性质量体(2)。第一和第二扭转梁(11、12)绕第一和第二扭转轴(T1、T2)扭转。第一和第二检测框(21、22)以第一和第二扭转轴(T1、T2)为中心转动。第一和第二检测电极(41、42)检测第一和第二检测框(21、22)相对基板(1)的角度。第一连接梁(31)在沿着与第一扭转轴(T1)交叉的方向、向第一检测框(21)的一端部侧移动了第一扭转轴(T1)的第一轴(L1)上。第二连接梁(32)在向与第一扭转轴(T1)的移动方向相同的方向移动了第二扭转轴(T2)的第二轴(L2)上。

主权项

一种加速度传感器，具有：基板(1)；第一扭转梁(11)，支撑于所述基板(1)，绕第一扭转轴(T1)扭转；第一检测框(21)，以能够以所述第一扭转轴(T1)为中心转动的方式经由所述第一扭转梁(11)支撑于所述基板(1)；第二扭转梁(12)，支撑于所述基板(1)，绕第二扭转轴(T2)扭转；第二检测框(22)，以能够以所述第二扭转轴(T2)为中心转动的方式经由所述第二扭转梁(12)支撑于所述基板(1)；第一和第二检测电极(41、41a、41b、42、42a、42b)，以与所述第一和第二检测框(21、22)分别相对置的方式形成在所述基板(1)上，且用于通过静电容量检测所述第一和第二检测框(21、22)相对于所述基板(1)的角度；第一连接梁(31)，在沿着与所述第一扭转轴(T1)交叉的方向、向所述第一检测框(21)的一端部侧移动了所述第一扭转轴(T1)的第一轴(L1)上，与所述第一检测框(21)连接；第二连接梁(32)，在向与所述第一扭转轴(T1)的移动方向相同的方向移动了所述第二扭转轴(T2)的第二轴(L2)上，与所述第二检测框(22)连接；以及惯性质量体(2)，通过所述第一和第二连接梁(31、32)分别与所述第一和第二检测框(21、22)连接，从而能在所述基板(1)的厚度方向发生位移地被支撑在所述基板(1)上。