光学式位移传感器以及操作装置

摘要

机械手的插入部（1）在前端具有动作部（12）。动作部（12）根据驱动部（21）驱动的线（13）的移位进行动作。在线（13）设置有位移传感器部（33）。在线（13）的贯通位移传感器部的部分固定有光反射率在线（13）的长度方向上连续地不同的反射面（42）。光源（351）辐射的光被一端固定于位移传感器部（33）的光纤（31）引导并照射到反射面（42）。通过反射面（42）反射的反射光强度根据线（13）的移位而不同。所述反射光由光纤（31）引导至光学部（35），由受光元件（352）接收并由信号处理部（36）进行信号处理，从而求出线（13）的移位。

主权项

一种光学式位移传感器，其特征在于，具有：线状动力传递部件（13；413），其在长度方向上移动；保持部件（33；432），其以能够在长度方向上移动的方式保持所述线状动力传递部件；光学元件（42；52；62；442），其具有沿着所述线状动力传递部件的移动方向连续变化的光学特性；发出光的光源（351）；受光部（352），其将入射的光的光学特性转换为电信号；线状光传送部件（31；31a、31b），其引导从所述光源发出的光，使该光射出到所述光学元件，并且将从所述光学元件入射的光引导至所述受光部，并相对于所述光学元件具有恒定距离地保持有从所述光源发出的光的出射位置和从所述光学元件入射的所述光的入射位置；以及计算部（36），其根据所述受光部输出的电信号，计算所述线状动力传递部件的移动方向上的所述线状动力传递部件与所述保持部件之间的移位量。