用于电镀基板的装置和电镀基板的方法

摘要

本文公开了一种基板电镀装置和电镀基板的方法。根据本发明的实施例的装置可以包括：第一旋转单元，其包括面向基板并且相对于基板旋转的电极单元；第二旋转单元，其使第一旋转单元环绕与第一旋转单元的旋转轴平行并且位于第一旋转单元外部的轴公转；以及供应部，其向基板提供电镀溶液。

主权项

一种用于电镀基板的基板电镀装置，所述装置包括：第一旋转单元，包括电极单元，所述电极单元面向所述基板并且相对于所述基板旋转；第二旋转单元，被配置为使所述第一旋转单元环绕与所述第一旋转单元的旋转轴平行并且位于所述第一旋转单元外部的轴公转；以及供应部，被配置为向所述基板提供电镀溶液。