| 摘要 |
本发明在无法进行流量控制时，自动转移到开度控制，而能在不停止系统之情形下，继续进行控制。;在实际流量正常异常判断部(25C)中，对实际流量测量部(25B)测量的流体的实际流量(QR)的正常/异常进行判断。在实际流量正常异常判断部(25C)判断爲异常时，对控制模式切换部(25D)的模式切换开关(SW1)的连接模式进行切换，从对阀控制部(25A)选择输出来自实际流量测量部(25B)的实际流量(QR)的模式(流量控制模式)切换爲对阀控制部(25A)选择输出来自阀开度检测器(16)的实际开度(θpv)的模式(开度控制模式)。 |
