| 摘要 |
<p>본 발명은, 챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판 상에 태양전지층을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 무기물 파우더를 포함하는 무기물 파우더 에어로졸을 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 무기물 파우더 에어로졸을 공급하는 무기물 파우더 공급부를 구비하는 무기물 파우더 공급 유니트; 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 배치되고 상기 태양전지층의 형성을 위하여 상기 노즐로부터 분사된 상기 무기물 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿부; 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 상기 태양전지층에 국부적 열에너지를 공급하는 도선 열에너지 제공부;를 구비하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치를 제공한다.</p> |
