| 摘要 |
<p>본 발명은 소자에 대한 소자검사, 검사결과에 따라서 소자를 분류하는 소자분류 중 적어도 어느 하나를 수행하는 소자핸들러로서, 상기 소자핸들러는 소자들이 적재된 제1적재부재로부터 소자를 픽업하여 소자들이 적재되는 제2적재부재로 소자를 플레이스하도록 소자를 픽업하는 하나 이상의 픽업헤드와, 상기 픽업헤드를 회전이동시키는 회전구동부를 포함하는 이송툴과; 상기 픽업헤드의 이동경로 상에 설치되어 상기 픽업헤드에 픽업된 소자에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득부를 포함하며, 상기 픽업헤드에 의하여 소자가 플레이스될 때 상기 이미지획득부에 의하여 획득된 이미지로부터 상기 픽업헤드에 픽업된 소자에 대한 정렬상태를 계산하여 소자의 적재되는 제2적재부재의 적재위치가 보정되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.</p> |
